一、用途
BM-SG12BD 高级透反射显微镜(明/暗场)是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的,作为高级透反射显微镜用户在使用时能够体验其超强性能,可广泛应用于油脂、半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件/金属/陶瓷部件、精密模具的检测。
本仪器采用了落射和透射两种照明形式,在落射照明下可进行明暗场观察和DIC观察、偏光观察。在透射光下作明场观察。稳定、高品质的光学系统使成像更清晰,衬度更好。符合人机工程学的设计,使您在工作中感到舒适和放松。
二、技术规格
1、目镜:
类 别 | 放 大 倍 数 | 目视场直径(mm) | 备注 |
超宽视场平场目镜 | 10X | Φ25 | |
十字分划目镜 | 10X | Φ20 | 0.1mm十字分划板 |
2、金相物镜(明暗场):
类 别 | 放大倍数 | 数值孔径(NA) | 系 统 | 工作距离(mm) |
超长工作距离 | 5X | 0.1 | 干 | 29.4 |
平场无限远 | 10X | 0.25 | 16 | |
明/暗场物镜 | 20X | 0.4 | 10.5 | |
50X | 0.55 | 5.1 |
3、金相显微镜的总放大倍率:
物 镜 | 目 镜 | 镜筒系数 | 总放大倍数 |
5X | 10X | 1X | 50X |
10X | 100X | ||
20X | 200X | ||
50X | 500X |
4、观察镜筒:30o铰链式三目镜筒(可以连接摄像数码装置)
5、机械筒长:无限远系统∞
6、镜筒透镜f=200mm
7、物镜转换器:带DIC插孔的大四孔转换器
8、瞳距:50mm-75mm
9、载物台: 双层移动平台,平台尺寸:189mmX160mm,移动范围:80mmX50mm
10、滤色片: 滤色片(绿、蓝、中性)
11、聚光镜: N.A=1.25阿贝聚光镜,带可变孔径光阑和滤色片
12、调焦装置:粗微动同轴调焦,微动格值0.002mm
13、偏光装置:检偏镜可360度旋转。起偏镜、检偏镜均可移出光路
14、检测工具:标准标尺:0.01mm测微尺
15、光源:
(1)透射照明:科勒照明卤素灯12V50W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调
(2)反射照明:卤素灯12V50W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调、带孔径光阑和视场光栏